白光干涉仪

白光干涉仪

VK-X3050

日本基恩士

正常

1、配备560万像素C-MOS摄像机，可测120倍~3600倍扩大观察倍率，测量样品表面形状；配备红色激光（波长661nm），可对样品表面进行测量分析，对样品厚度、粗糙度进行测量；配备白光干涉光学元件，对样品3D形状进行测量；

2、具备三种测量方式：聚焦变化、激光共焦、白光干涉；

3、最大样品高度：70mm；

4、最大样品尺寸：用318mm直径观察整个物体；

5、显示器分辨率：1nm（激光共焦、聚焦变化）；0.01nm（白光干涉）；

6、Z载物台行程：72mm，承重：3.0kg；

白光干涉激光显微系统内置有“聚焦变化”、“激光共焦”、“白光干涉”这三个测量方式。本系统是囊括了光学显微镜、SEM、轮廓测量仪/表面粗糙度计等功能、特点的扩大观察/形状分析系统。